Vakuumbeschichtung: Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
H. Birck, J. Moll (auth.), Prof. Dr. Gerhard Kienel (eds.)
Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Κατηγορίες:
Έτος:
1994
Έκδοση:
1
Εκδότης:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Γλώσσα:
german
Σελίδες:
368
ISBN 10:
3642635113
ISBN 13:
9783642635113
Σειρές:
VDI-Buch
Αρχείο:
PDF, 13.29 MB
IPFS:
,
german, 1994
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